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基于硅的MEMS传感器技术

时长：4 分钟

类别：智能控制技术

简介：Ashcroft传感器技术公司的Si-Glas?是一种基于硅的电容式MEMS（微电子机械系统）传感器技术。Si-Glas?技术利用硅材料的特性，结合微电子加工技术，制造出微小的机械结构和电容器。

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