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MEMS微镜阵列技术

时长：7 分钟

类别：智能控制技术

简介：德国应用科技研究机构FraunhoferIPMS日前展示了其开发的光子微系统，与单片集成MEMS（微机电系统）技术相结合，创建了独特的微镜阵列。微镜阵列在半导体制造、显微镜和全息术方面都有应用。

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