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MEMS技术及系统

时长：2 分钟

类别：智能控制技术

简介：MEMS是基于硅的微电子与微加工技术，MEMS技术和微系统设备对我们的生活和生活方式产生了积极的影响。数百万个MEMS设备嵌入到了我们日常使用的产品中。

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