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EUV光刻技术的工作原理

时长：2 分钟

类别：微电子技术

简介：多年来，半导体的尺寸急剧缩小，为了找到使芯片变得更小更强大的方法，需要新技术的加持——EUV光刻机。本片将着重介绍EUV光刻技术。

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