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EUV光刻技术的工作原理
时长:2 分钟
类别:微电子技术
简介:多年来,半导体的尺寸急剧缩小,为了找到使芯片变得更小更强大的方法,需要新技术的加持——EUV光刻机。本片将着重介绍EUV光刻技术。
标签:
教学
微电子
芯片制造工艺
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