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离子注入工艺概述

时长:13 分钟
类别:微电子技术
简介:离子注入在现代硅片制造过程中有广泛应用,主要用于掺杂半导体。在这个过程中,离子束被加速并注入到材料的表面,从而改变材料的化学组成、晶体结构或表面硬度等特性。

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