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化学气相沉积法制备纳米结构
时长:8 分钟
类别:微电子技术
简介:化学气相沉积法是一种典型的自下而上的超薄二维纳米材料制备方法,也是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术。了解如何在纳米尺度上制造和表征纳米结构。
标签:
教学
微电子
芯片制造工艺
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