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低压化学气相沉积
时长:5 分钟
类别:微电子技术
简介:在半导体制造中,低压化学气相沉积是一种常用的沉积技术,用于在半导体器件上沉积薄膜材料,其中SiO2是一种常见的绝缘材料,用于制造晶体管和其他半导体器件的绝缘层。
标签:
教学
微电子
芯片制造工艺
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