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半导体离子注入工艺

时长：8 分钟

类别：微电子技术

简介：离子注入是一种添加工艺，利用高能量带电离子束注入的形式，将掺杂物原子强行掺入半导体中。理解如何使用离子束在半导体内部深处注入掺杂剂。

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