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光刻技术概述
时长:26 分钟
类别:微电子技术
简介:光刻技术是半导体制造中常用的一种工艺,用于在半导体器件上定义图案和结构。在纳米技术研究中,光刻技术也是一种重要的工具,用于制备微米甚至纳米级别的结构。
标签:
教学
微电子
芯片制造工艺
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