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EUV光刻技术面临的挑战
时长:15 分钟
类别:微电子技术
简介:描述了ASML在实现EUV光刻技术时所面临的挑战,其中包括如何解决EUV光刻掩膜的零缺陷率问题。
标签:
教学
微电子
芯片制造工艺
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