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何谓极紫外光刻系统

时长：9 分钟

类别：微电子技术

简介：描述了在光刻中如何使用极紫外（EUV）光。通过使用CO2激光器向快速移动的锡滴发射两个独立的激光脉冲，锡被蒸发并产生EUV光。

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