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极紫外光的产生原理

时长：18 分钟

类别：微电子技术

简介：阿斯麦公司使用（极紫外）EUV光在晶圆上创建极小的图案。这种技术需要一个强大的核心，那就是EUV光。那么EUV光是如何产生的呢？

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