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电子束晶圆缺陷检测系统

时长：3 分钟

类别：微电子技术

简介：领先的集成电路采用新材料进行制造，具有更小、更窄、更高和更深的结构。这种复杂性需要创新的缺陷检测解决方案。eSL10电子束图案化晶圆缺陷检测系统能够捕捉并识别其他检查员无法发现的缺陷。

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