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高数值孔径极紫外光刻技术

时长：6 分钟

类别：微电子技术

简介：英特尔晶圆厂组装了行业首款高数值孔径极紫外光刻系统。这一技术的引入将有助于英特尔继续推动半导体工艺的发展。

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