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EUV光刻技术与自由电子激光器

时长：16 分钟

类别：微电子技术

简介：将EUV光刻技术和自由电子激光器结合，意味着利用自由电子激光器产生极高能量的极紫外光，用于进行更精细、更高分辨率的图案化。

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