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简述湿法刻蚀工艺
时长:10 分钟
类别:微电子技术
简介:通过使用各向同性和各向异性湿法刻蚀工艺,可以高精度地创建由硅湿法蚀刻产生的微观结构。本片解释了各向同性和各向异性湿法刻蚀的原理。
标签:
教学
微电子
芯片制造工艺
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